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16
August
2024
2024
展覽公告
2024 SEMICON Taiwan 國際半導體展
2024 SEMICON TAIWAN
展覽日期：2024/09/04(三) - 09/06(五)
展覽時間：10:00 AM ~ 5:00 PM (最後一日參觀至4:00PM)
安川展覽位置: 南港展覽館二館 4F S7646
展出產品/解決方案
- 採用DD馬達的低震動半導體晶圓搬運機器人(MD124D)
- 結合安川控制器與伺服馬達實現高性能運動控制(MP控制器)
低震動高精度
進一步提升良率
使用直驅馬達並透過獨家G值控制演算法讓所有動作穩如泰山
最新世代半導體手臂，可對應各式半導體製程需求
- AWC功能可補償偏心誤差，確保每次搬運動作時晶圓位置的正確性
- 對應晶圓&鐵框混合搬運，可彈性配合各類製程所需動作
- 震動感測器隨時監控搬運狀態，方便追蹤&管理生產狀況
- Passive-Grip把持方式，降低所有可能對晶圓造成的應力變形
透過軟體輔助
進一步提升精度
結合安川控制器與伺服馬達實現高性能運動控制
二維平面校正機能、提高加工精度
- XY滑台在微距移動應用中，可能因為機械組裝、加工件偏差、熱變形等硬體因素，導致目標位置與實際加工位置產生誤差。
- 為了提高工作精度，搭配平面校正機能，補償工作區域範圍內的所有移動軌跡，從而消除已知的誤差量。
展場地圖
